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用途
1.PCB孔內(nèi)鉆污及表面清潔
2.HDI板孔底及孔壁鉆污的清潔
3.FPC孔內(nèi)鉆污及表面的清潔
4.PI表面粗化及清潔
5.Coverlay表面粗化及清潔
6.Teflon板的活化及孔內(nèi)鉆污清潔
7.軟硬結(jié)合板孔內(nèi)鉆污及表面清潔
設(shè)備特點(diǎn)
1.低耗能、低耗氣產(chǎn)品
2.便捷的垂直收放板方式
3.合理的等離子反應(yīng)空間,使處理更加均勻
4.集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),使操作更方便
5.真空系統(tǒng)集成,占地面積小
電極 |
有效尺寸 |
610(H)*1118(W) mm/533(H)*635(W) mm |
電極層數(shù) |
15層 |
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腔體 |
尺寸 |
1150(L)*1650(W)*1010(H)mm/1105(L)*840(W)*932(H)mm |
材料 |
航空級鋁合金 |
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主機(jī) |
尺寸 |
1826(L)*1720(W)*2326mm(H)/1500(L)*1100(W)*2050mm(H) |
安裝面積 |
3200mm*4000mm |
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重量 |
2850KG/2200KG |
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電源 |
頻率@功率 |
可選配13.56MHZ射頻電源/微波電源/中頻電源 |
控制方式 |
PLC+觸摸屏 |
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真空泵 |
干泵 |
1178CFM/1060CFM |
安裝條件 |
安裝條件 |
AC380V,50-60Hz,三相五線,38KVA/30KVA |
壓縮空氣 |
壓?6-8KG/CM2 |
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工藝氣體 |
Ar,N2,CF4,O2,H2 |
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運(yùn)行環(huán)境 |
18-30°C,少塵,干燥,遠(yuǎn)離強(qiáng)磁場 |