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工作處理流程
自動裝載→產(chǎn)品引到真空室→關(guān)閉真空室及抽真空度→前處理→真空清洗→產(chǎn)品推出→卸載
電極配置和氣體流量 |
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保證良好的氣體流動系統(tǒng)及均勻的等離子體生成系統(tǒng) |
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通過強力排氣及消除污染,徹底消除殘留物 |
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射頻發(fā)生器 |
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頻率 |
13.56Hz |
輸出功率 |
1000W Max |
配備自動匹配系統(tǒng)以最大限度地減少反射功率 |
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真空系統(tǒng) |
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真空干泵/油泵 |
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安全 |
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緊急停止按鈕,關(guān)閉所有功率和氣體流量 |
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射頻發(fā)生器互鎖 |
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室門關(guān)閉檢測 |
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安全玻璃檢查觀點 |
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電磁輻射抑制 |